Uppruni rafhleðsluvinnslu nær aftur til 1770, þegar enski vísindamaðurinn Joseph Priestly uppgötvaði veðrandi áhrif rafhleðslu. Árið 1943 fengu sovésku vísindamennirnir B. Lazarenko og N. Lazarenko hugmyndina um að nýta eyðileggjandi áhrif rafhleðslu og þróa stýrt ferli til að vinna efni sem leiða rafmagn. Með þeirri hugmynd fæddist EDM ferlið.
Lazarenkos-hjónin fullkomnuðu rafhleðsluferlið, sem samanstóð af röð af úthleðslum sem átti að eiga sér stað á milli tveggja leiðara sem eru aðskildir frá hvor öðrum með filmu af óleiðandi vökva, sem kallast díelectric. The Lazarenkos náði mynd af ódauðleika með þessari hringrás, sem í dag ber nafn þeirra. Í dag nota margir EDM háþróaða útgáfu af Lazarenko hringrásinni.
Árið 1952 bjó framleiðandinn Charmilles til, vegna þess að hann hafði áhuga á neistaflugsvinnslu, fyrstu vélina með þessu vinnsluferli og var kynnt í fyrsta skipti á evrópsku vélaverkfærasýningunni í Mílanó árið 1955.
Talnastýringar- og endurgjöfarlykkjur með ofurhröðum servóum var bætt við á áttunda áratugnum.
Í dag, full 3-D CAD/CAMS fæða stýringar vélanna með kóða sem er búinn til til að stjórna slóð og neistaeiginleikum.
